Magnetron purkash qoplamasi bug' bilan qoplashning yangi jismoniy usuli bo'lib, oldingi bug'lanish bilan qoplash usuli bilan solishtirganda, uning ko'p jihatdan afzalliklari juda ajoyib.Yetuk texnologiya sifatida magnetronli püskürtme ko'plab sohalarda qo'llanilgan.
Magnetronning purkash printsipi:
Spreylangan nishon qutb (katod) va anod o'rtasida ortogonal magnit maydon va elektr maydon qo'shiladi va yuqori vakuum kamerasiga kerakli inert gaz (odatda Ar gazi) to'ldiriladi.Doimiy magnit maqsadli material yuzasida 250-350 gaus magnit maydonini hosil qiladi va ortogonal elektromagnit maydon yuqori kuchlanishli elektr maydonidan iborat.Elektr maydoni ta'sirida Ar gazining musbat ionlarga va elektronlarga ionlanishi, maqsadli va ma'lum bir salbiy bosimga ega bo'lib, magnit maydon ta'sirida qutbdan nishondan va ish gazining ionlanish ehtimoli oshadi, yaqinida yuqori zichlikdagi plazma hosil qiladi. katod, Ar ioni lorents kuchi ta'sirida, nishon yuzasiga uchish tezligini oshiradi, nishon sirtini yuqori tezlikda bombardimon qiladi, Nishonga sochilgan atomlar impuls konvertatsiyasi tamoyiliga amal qiladi va yuqori kinetik bilan nishon sirtidan uzoqlashadi. substrat cho'kma plyonkaga energiya.
Magnetronning püskürtülmesi odatda ikki turga bo'linadi: doimiy to'lqinli oqim va radio chastotasi.To'g'ridan-to'g'ri purkash uskunasining printsipi oddiy va metallni püskürtme tezligi tezdir.RF purkashdan foydalanish o'tkazuvchan materiallardan tashqari, o'tkazuvchan bo'lmagan materiallarni, shuningdek oksidlar, nitridlar va karbidlarni va boshqa birikma materiallarni reaktiv püskürtme tayyorlashdan tashqari kengroqdir.Agar RF chastotasi oshsa, u mikroto'lqinli plazma purkashiga aylanadi.Hozirgi vaqtda elektron siklotron rezonansi (ECR) tipidagi mikroto'lqinli plazma püskürtmesi keng tarqalgan.
Magnetron purkash qoplamasi maqsadli materiali:
Metall püskürtme maqsadli materiali, qoplama qotishma purkash qoplama materiali, keramik püskürtme qoplama materiali, boridli keramik püskürtme maqsadli materiallar, karbid keramik püskürtme maqsadli material, ftoridli keramik püskürtme maqsadli material, nitridli keramik püskürtme maqsadli materiallar, oksidli keramik maqsadli, selenidli keramik maqsadli material, silitsidli keramik purkash uchun maqsadli materiallar, sulfidli keramik püskürtme maqsadli material, telluridli keramik püskürtme nishoni, boshqa keramika nishoni, xrom qo'shilgan kremniy oksidi sopol maqsad (CR-SiO), indiy fosfidi nishoni (InP), qo'rg'oshin arsenidi (PbAs), indiy arsenid maqsad (InAs).
Yuborilgan vaqt: 2022-yil 03-avgust