Polisilikon - bu püskürtme uchun muhim maqsadli material.SiO2 va boshqa yupqa plyonkalarni tayyorlash uchun magnetronli püskürtme usulidan foydalanish matritsa materialini sensorli ekran, optik va boshqa sohalarda keng qo'llaniladigan optik, dielektrik va korroziyaga chidamliligini oshirishi mumkin.
Uzun kristalllarni quyish jarayoni quyma pechning issiq maydonidagi isitgichning haroratini va issiqlik izolyatsion materialning issiqlik tarqalishini aniq nazorat qilish orqali suyuq kremniyning pastdan yuqoriga yo'naltirilgan qattiqlashishini bosqichma-bosqich amalga oshirishdir. uzoq kristallarning qattiqlashuv tezligi 0,8 ~ 1,2 sm / soat.Shu bilan birga, yo'nalishli qotib qolish jarayonida silikon materiallardagi metall elementlarning segregatsiya ta'sirini amalga oshirish mumkin, metall elementlarning ko'pchiligi tozalanishi va bir xil polikristalli kremniy don tuzilishi shakllanishi mumkin.
Kremniy eritmasida qabul qiluvchi aralashmalarning kontsentratsiyasini o'zgartirish uchun ishlab chiqarish jarayonida quyma polisilikonni qasddan doping qilish kerak.Sanoatdagi p-tipli quyma polisilikonning asosiy dopanti kremniy bor asosiy qotishmasi bo'lib, unda bor miqdori taxminan 0,025% ni tashkil qiladi.Doping miqdori kremniy gofretning maqsadli qarshiligi bilan belgilanadi.Optimal qarshilik 0,02 ~ 0,05 Ō • sm va mos keladigan bor konsentratsiyasi taxminan 2 × 1014 sm-3。 Biroq, kremniydagi borning ajratish koeffitsienti 0,8 ga teng bo'lib, bu yo'nalishli qotib qolish jarayonida ma'lum bir segregatsiya effektini ko'rsatadi. ya'ni, bor elementi quyma vertikal yo'nalishi bo'yicha gradient bo'ylab taqsimlanadi va qarshiligi quyma pastdan yuqoriga qarab asta-sekin kamayadi.
Xabar vaqti: 26-iyul-2022