Maqsad keng bozor, dastur maydoni va kelajakda katta rivojlanishga ega.Maqsadli funktsiyalarni yaxshiroq tushunishga yordam berish uchun, quyida RSM muhandisi maqsadning asosiy funktsional talablari bilan qisqacha tanishtiradi.
Poklik: tozalik maqsadning asosiy funktsional ko'rsatkichlaridan biridir, chunki nishonning tozaligi plyonka funktsiyasiga katta ta'sir ko'rsatadi.Biroq, amaliy qo'llashda, maqsadning tozalik talablari ham boshqacha.Misol uchun, mikroelektronika sanoatining jadal rivojlanishi bilan kremniy gofretning o'lchami 6 "8" dan 12 "gacha kengaytirildi va simlar kengligi 0,5 dan 0,25 um, 0,18 um yoki hatto 0,13 m gacha kamayadi.Ilgari, maqsadli tozalikning 99,995% 0,35umik jarayon talablariga javob berishi mumkin, 0,18um liniyalarni tayyorlash esa maqsadli tozalikning 99,999% yoki hatto 99,9999% ni talab qiladi.
Nopoklik tarkibi: maqsadli qattiq moddalardagi aralashmalar va g'ovaklardagi kislorod va suv bug'lari yotqizilgan plyonkalarning asosiy ifloslanish manbalari hisoblanadi.Turli maqsadlar uchun mo'ljallangan nishonlar turli xil aralashmalar tarkibiga turli talablarga ega.Misol uchun, yarimo'tkazgich sanoatida ishlatiladigan sof alyuminiy va alyuminiy qotishma maqsadlarida gidroksidi metall tarkibi va radioaktiv elementlarning tarkibi uchun maxsus talablar mavjud.
Zichlik: maqsadli qattiq moddadagi teshiklarni kamaytirish va püskürtme plyonkasi funktsiyasini yaxshilash uchun odatda yuqori zichlikka ega bo'lishi kerak.Nishonning zichligi nafaqat püskürtme tezligiga ta'sir qiladi, balki filmning elektr va optik funktsiyalariga ham ta'sir qiladi.Maqsadli zichlik qanchalik baland bo'lsa, filmning funktsiyasi shunchalik yaxshi bo'ladi.Bundan tashqari, nishonning zichligi va kuchi yaxshilanadi, shunda nishon püskürtme jarayonida termal stressni yaxshiroq qabul qilishi mumkin.Zichlik, shuningdek, maqsadning asosiy funktsional ko'rsatkichlaridan biridir.
Xabar berish vaqti: 20-may-2022-yil