Uni DC magnetronli püskürtme va RF magnetronli purkashga bo'lish mumkin.
To'g'ridan-to'g'ri purkash usuli nishonning ion bombardimon qilish jarayonidan olingan ijobiy zaryadni u bilan yaqin aloqada bo'lgan katodga o'tkazishini talab qiladi va keyin bu usul faqat izolyatsiya ma'lumotlariga mos kelmaydigan o'tkazgich ma'lumotlarini sochishi mumkin, chunki Izolyatsiya nishonini bombardimon qilishda sirtdagi ion zaryadini zararsizlantirib bo'lmaydi, bu maqsad sirtdagi potentsialning oshishiga olib keladi va deyarli barcha qo'llaniladigan kuchlanish nishonga qo'llaniladi, shuning uchun ion tezlashishi va ionlanish ehtimoli. ikkita qutb kamayadi yoki hatto ionlashtirilmaydi, bu uzluksiz zaryadsizlanishga, hatto tushirishning uzilishiga va chayqalishning uzilishiga olib keladi.Shuning uchun, radiochastotadan purkash (RF) o'tkazuvchanligi past bo'lgan nishonlarni yoki metall bo'lmagan nishonlarni izolyatsiyalash uchun ishlatilishi kerak.
Chaqmoq jarayoni murakkab sochilish jarayonlari va turli xil energiya uzatish jarayonlarini o'z ichiga oladi: birinchidan, tushayotgan zarralar maqsadli atomlar bilan elastik tarzda to'qnashadi va tushayotgan zarrachalarning kinetik energiyasining bir qismi maqsadli atomlarga uzatiladi.Ba'zi maqsadli atomlarning kinetik energiyasi ularning atrofidagi boshqa atomlar tomonidan hosil qilingan potentsial to'siqdan oshadi (metalllar uchun 5-10ev), keyin ular tarmoqdan tashqarida atomlarni hosil qilish uchun panjara panjarasidan tashqariga chiqariladi va qo'shni atomlar bilan yana takroriy to'qnashuvlar. , natijada to'qnashuv kaskadi.Ushbu to'qnashuv kaskadi nishon yuzasiga etib kelganida, agar nishon yuzasiga yaqin bo'lgan atomlarning kinetik energiyasi sirt bog'lanish energiyasidan (metalllar uchun 1-6ev) katta bo'lsa, bu atomlar nishon sirtidan ajralib chiqadi. va vakuumga kiring.
Spyuter qoplamasi - zaryadlangan zarrachalarni vakuumda nishonning sirtini bombardimon qilish uchun bombardimon qilingan zarralarni substratda to'plash uchun ishlatish qobiliyati.Odatda, hodisa ionlarini yaratish uchun past bosimli inert gaz porlashi ishlatiladi.Katod nishoni qoplama materiallaridan qilingan, substrat anod sifatida ishlatiladi, vakuum kamerasiga 0,1-10pa argon yoki boshqa inert gaz kiritiladi va katod (maqsad) 1-3kv DC salbiy yuqori ta'sirida porlash oqimi sodir bo'ladi. kuchlanish yoki 13,56 MGts chastotali kuchlanish.Ionlashgan argon ionlari nishonning sirtini bombardimon qiladi, natijada maqsadli atomlar chayqaladi va substratda to'planib, yupqa plyonka hosil qiladi.Hozirgi vaqtda ko'plab purkash usullari mavjud, ular asosan ikkilamchi, uchinchi yoki to'rtlamchi püskürtme, magnetronli püskürtme, maqsadli püskürtme, RF püskürtme, tarafkashlik, assimetrik aloqa RF püskürtme, ion nurlari va reaktiv püskürtme.
O'nlab elektron voltli energiyaga ega bo'lgan musbat ionlar bilan kinetik energiya almashgandan so'ng, chayqalgan atomlar sochilib ketganligi sababli, chayqalgan atomlar yuqori energiyaga ega bo'lib, bu stacking paytida atomlarning tarqalish qobiliyatini yaxshilashga, stacking tartibining nozikligini yaxshilashga yordam beradi. tayyorlangan plyonka substrat bilan kuchli yopishqoqlikka ega.
Cho'kish paytida gaz ionlangandan so'ng, gaz ionlari elektr maydoni ta'sirida katodga ulangan nishonga, elektronlar esa tuproqli devor bo'shlig'iga va substratga uchadi.Shu tarzda, past kuchlanish va past bosim ostida ionlar soni kichik va nishonning chayqalish kuchi past bo'ladi;Yuqori kuchlanish va yuqori bosimda, ko'proq ionlar paydo bo'lishi mumkin bo'lsa-da, substratga uchib ketadigan elektronlar yuqori energiyaga ega, bu esa substratni isitish va hatto ikkilamchi püskürtme oson bo'lib, plyonka sifatiga ta'sir qiladi.Bundan tashqari, substratga uchish jarayonida maqsadli atomlar va gaz molekulalari o'rtasidagi to'qnashuv ehtimoli ham sezilarli darajada oshadi.Shuning uchun u butun bo'shliqqa tarqaladi, bu nafaqat maqsadni isrof qiladi, balki ko'p qatlamli plyonkalarni tayyorlash jarayonida har bir qatlamni ifloslantiradi.
Yuqoridagi kamchiliklarni bartaraf etish uchun 1970-yillarda DC magnetronli püskürtme texnologiyasi ishlab chiqilgan.U past katodli püskürtme tezligining kamchiliklarini va elektronlar tomonidan yuzaga keladigan substrat haroratining oshishini samarali tarzda bartaraf etadi.Shuning uchun u tez ishlab chiqilgan va keng qo'llanilgan.
Printsip quyidagicha: magnetronli chayqalishda harakatlanuvchi elektronlar magnit maydonda Lorents kuchiga ta'sir qilganligi sababli ularning harakat orbitasi aylanma yoki hatto spiral harakatga ega bo'ladi va ularning harakat yo'li uzunroq bo'ladi.Shu sababli, ishlaydigan gaz molekulalari bilan to'qnashuvlar soni ortadi, shuning uchun plazma zichligi oshadi va keyin magnetronning chayqalish tezligi sezilarli darajada yaxshilanadi va kino ifloslanish tendentsiyasini kamaytirish uchun pastroq püskürtme kuchlanish va bosim ostida ishlashi mumkin;Boshqa tomondan, u substrat yuzasiga tushadigan atomlarning energiyasini ham yaxshilaydi, shuning uchun filmning sifati katta darajada yaxshilanishi mumkin.Shu bilan birga, bir nechta to'qnashuvlar natijasida energiyani yo'qotadigan elektronlar anodga etib borganda, ular kam energiyali elektronlarga aylandi va keyin substrat qizib ketmaydi.Shuning uchun, magnetronli püskürtme "yuqori tezlik" va "past harorat" afzalliklariga ega.Ushbu usulning nochorligi shundaki, izolyator plyonkasini tayyorlash mumkin emas va magnetron elektrodda ishlatiladigan notekis magnit maydon nishonning aniq notekis qirqishiga olib keladi, natijada nishondan foydalanish darajasi past bo'ladi, bu odatda atigi 20% - 30 ni tashkil qiladi. %.
Xabar berish vaqti: 2022 yil 16-may